射頻探針的接觸是用鈹-銅制作的。最早采用射頻探針技術與今天的工具是很不相同的，早期探針使用了由一個很短的線極尖而逐漸收斂的50-Ω微帶線，通過探針基片上一個小孔而與被測器件（DUT）的壓點相接觸。當圓晶片的夾具被移動時，線極尖的輻射阻抗會有較大的變化。高頻測量使用的極尖設計與用于直流和低頻測量的極尖不同，而且必須使50-Ω環(huán)境盡可能地接近于DUT壓點。之后工程師在探針技術上取得了突破。確定了射頻探針的基本要求和工作原理技術。

射頻探針要求和原理：

       1） 探針的50-Ω平面?zhèn)鬏斁€應當直接與DUT壓點相接觸而不用接觸導線。對于微帶線和隨后的共面探針設計，探針的接觸是用小的金屬球來實現(xiàn)的，這個金屬球要足夠大以保證可靠且可重復性的接觸。

　　2）具有很高重復性的接觸可以進行探針的準確校準并將測量參考平面移向其極尖處。來自探針線和到同軸連接器的過渡所產生的探針的損耗及反射是通過由射頻電纜和連接器的誤差相類似的方式而抵消的

　   3） 為了能同時接觸到DUT的信號壓點和接地壓點，需要將探針傾斜。這個過程被稱為“探針的平面化”。

　　4） 探針的接觸重復性比同軸連接器的可重復性要好得多。便于進行探針極尖和在片標準及專用校準方法的開發(fā)。

射頻探針應用場景：

　　1）射頻和微波模塊信號插入，檢測和測量輸出；

　　2）高頻電路板電氣性能分析；

　　3）高速數(shù)字電路分析

 射頻探針優(yōu)勢：

　　1. 容易探測測試沒有任何焊接過的電路板信號

　　2. 兼容 pogo 大頭針允許探索non-planar 結構

　　3. 探針的使用壽命更加長久

　　4. 較少測試時間